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在設備的加工階段，有必要跟隨加工工藝（尤其是焊接工藝）及時地對半成品零部件進行檢漏。對於製造完畢後無法接觸、檢漏或修補的部件，焊縫質量要嚴格檢漏，不合格的及時重焊、補焊並重新檢漏，符合要求後才可以進行下一道工序。特別是對於大容器的組焊、加工，中間過程的檢漏十分關鍵，必要時應該設計、製造專門的檢漏工具（如探漏盒、盲板等）。對於采用雙層室壁水冷夾套的真空室體，好首先組焊完內層室壁並檢漏，確認沒有漏孔後再組焊外層室壁。同樣道理，對於室壁外側有保溫層等不易拆卸結構的情況，必須首先對室壁做嚴格檢漏，然後才能包覆外層結構。
在條件允許情況下，所有真空法蘭與其接管（包括真空室體法蘭與室體壁）均應采用焊後加工法蘭表麵的工藝。不經焊後加工的法蘭，即便在安裝調試階段可能滿足了密封要求，但在設備使用過程中，受熱、振動等因素也可能誘發焊接應力的釋放，從而導致法蘭變形和密封性能下降。
加工製造過程中，嚴格執行真空作業衛生和作業規範，對於提高真空設備和係統的氣密性也是很有幫助的。焊接坡口打磨成型後，需經去油清洗並及時保護將有利於提高焊縫的氣密性。已經加工完成的零部件動、靜密封麵，應該具有保護措施，嚴防在存放、搬運、裝配過程中發生磕碰、劃傷。使用焊接波紋管、金屬與陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易損件時，更應精心作業，尤其避免已經通過預檢漏後被損壞而產生漏孔。
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