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1、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低於1*10-10mbar*l/s。
2、特氣係統，內向測漏法測定的泄漏率不得大於1*10-9mbar*l/s;
3、閥座測漏法測定的泄漏率不得大於1*10-6mbar*l/s;
4、外向測漏法測定的泄漏率不得大於1*10-6mbar*l/s。
特種氣體管道氦檢漏注意事項：
氦檢漏發現的泄漏點經修補後，應重新經過氣密性試驗，合格後再按規定進行氦檢漏。所有可能泄漏點應用塑料袋進行隔離。係統測試完畢，應充入高純氮氣或氬氣，並進行吹掃。測試完畢後，應提交測試報告。
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